主要技术参数

横向，前加载电动铰链前门和自动气动夹紧。手动打开后门。适用于洁净室集成的系统框架/夹层双壁水冷不锈钢腔室、门和泵线
金属屏蔽热区。钨钼屏蔽用机械粗泵泵送10英寸扩散泵。水冷进口挡板氢气准备烧毁系统。

1、额定功率： 120KW

2、*高温度： 2000℃

3、长期使用温度： 1850℃

4、工作区尺寸： 650×400×400 mm（深宽高）

5、温度控制： 钨套管钨铼热电偶

6、温度控制区间： 室温～2000℃

7、真空系统： 直联泵+分子泵

8、冷态真空度： 6.67*10^-3pa

9、可通气氛： H₂、N₂等多种气氛

10、安全系统： 超温报警装置

11、电源电压： 380 V

12、压升率： ≤2Pa/h

13、充气压力： ≤0.03Mpa

14、升温速率： 平均10℃/min

15、降温方式： 自然降温

16、水冷系统： 表面温度低于55度