有芯、无芯、圆柱和磁引力补偿式线性伺服系统特别适用于高速、高精密应用之场合。用于半导体制造装置、芯片贴装机等。

推力：350N-6400N
额定推力：160N-4150N

1、 带铁芯两侧型直线电机，磁吸力互补构造，低转矩波动直线电机，适用于半导体制造、贴片机、焊接机、火花机、搬运装置、FPD制造装置等。
2、 带铁芯扁平型直线电机，达到小型高推力，发热比原有产品降低50%，适用于半导体制造、贴片机、焊接机、火花机、搬运装置、FPD制造装置等。
3、 缸型带铁芯式直线电机，适用于短冲程，高频动作用途的超高加速，小型化直线电机，外形类似于伺服电机，容易安装。适用于高速打孔加工设备，代替凸轮、曲轴驱动。