制备工业用高纯水的工艺流程
电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种:
- 采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
- 采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点
- 采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式,这是1种制取超纯水的新工艺,也是1种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→抛光混床-紫外线杀菌器-终端精密过滤器→用水点
工程实例
3t/h电子行业用高纯水系统
原水管道-原水加压泵-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-精密过滤器-反渗透机-中间水箱-EDI装置-中间水箱-抛光树脂-紫外线杀菌器-终端精密过滤器-用水点-回中间水箱
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